中国科学院广州能源研究所机构知识库

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Creator：梁宗存    First author    Creator：沈辉    Language：中文    Funding Organization：中国太阳能学会    Document Type：会议论文

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	多晶硅薄膜的制备与表征 会议论文 中国第七届光伏会议论文集, 中国第七届光伏会议论文集, 中国第七届光伏会议, 中国第七届光伏会议, 杭州, 2002-10-23 Authors:  胡芸菲;  沈辉;  梁宗存;  刘正义 Adobe PDF(390Kb)  |  Favorite  |  View/Download：535/133  |  Submit date：2011/07/26 多晶硅薄膜  化学气相沉积  颗粒硅带  外延生长  薄膜制备  形貌结构
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