Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
| 多晶硅薄膜的制备与表征 | |
| 胡芸菲; 沈辉; 梁宗存; 刘正义 | |
| 2002-10-23 | |
| Source Publication | 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议 ; 中国第七届光伏会议 |
| Source Publication | 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议 ; 中国第七届光伏会议 |
| Conference Date | 2002-10-23 |
| Conference Place | 杭州 |
| Publication Place | 杭州 |
| Funding Organization | 中国太阳能学会 |
| Other Abstract | 以多晶硅片为衬底,在快热化学气相沉积(RTCVD)设备上,通过外延生长的方式制得多晶硅薄膜,并利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等测试手段对薄膜的形貌结构及成分进行分析. |
| Keyword | 多晶硅薄膜 化学气相沉积 颗粒硅带 外延生长 薄膜制备 形貌结构 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 会议论文 |
| Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7940 |
| Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 胡芸菲,沈辉,梁宗存,等. 多晶硅薄膜的制备与表征[C]. 杭州,2002. |
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