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Electrical properties of B-doped polycrystalline silicon thin films prepared by rapid thermal chemical vapour deposition 期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2006, 卷号: 497, 期号: 1-2, 页码: 157-162
作者:  Ai, B;  Shen, H;  Liang, ZC;  Chen, Z;  Kong, GL;  Liao, XB
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Chemical Vapour Deposition  Electrical Properties And Measurements  Scanning Electron Microscopy  Polycrystalline Silicon