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多晶硅薄膜的制备与表征 会议论文
中国第七届光伏会议论文集, 中国第七届光伏会议论文集, 中国第七届光伏会议, 中国第七届光伏会议, 杭州, 2002-10-23
作者:  胡芸菲;  沈辉;  梁宗存;  刘正义
Adobe PDF(390Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：468/108  |  提交时间：2011/07/26
多晶硅薄膜  化学气相沉积  颗粒硅带  外延生长  薄膜制备  形貌结构