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开口隔离层上多晶硅薄膜制备 期刊论文
太阳能学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 369-372
作者:  梁宗存;  柳锡运;  沈辉
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以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法 期刊论文
人工晶体学报, 2003, 卷号: 32, 期号: 4, 页码: 361-365
作者:  邱春文;  石旺舟;  王晓晶;  周燕
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