Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法 | |
邱春文; 石旺舟; 王晓晶; 周燕 | |
2003 | |
发表期刊 | 人工晶体学报 |
卷号 | 32期号:4页码:361-365 |
合作性质 | 其它 |
收录类别 | EI |
语种 | 中文 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/623 |
专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 邱春文,石旺舟,王晓晶,等. 以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法[J]. 人工晶体学报,2003,32(4):361-365. |
APA | 邱春文,石旺舟,王晓晶,&周燕.(2003).以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法.人工晶体学报,32(4),361-365. |
MLA | 邱春文,et al."以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法".人工晶体学报 32.4(2003):361-365. |
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