GIEC OpenIR  > 中国科学院广州能源研究所
以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法
邱春文; 石旺舟; 王晓晶; 周燕
2003
发表期刊人工晶体学报
卷号32期号:4页码:361-365
合作性质其它
收录类别EI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/623
专题中国科学院广州能源研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
邱春文,石旺舟,王晓晶,等. 以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法[J]. 人工晶体学报,2003,32(4):361-365.
APA 邱春文,石旺舟,王晓晶,&周燕.(2003).以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法.人工晶体学报,32(4),361-365.
MLA 邱春文,et al."以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法".人工晶体学报 32.4(2003):361-365.
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