中国科学院广州能源研究所机构知识库

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	多弧离子镀与磁控溅射联用镀制TiN/SiO2复合装饰薄膜的研究 期刊论文 真空, 2015, 期号: 1, 页码: 45-47 Authors:  朱元义;  邓佩珊;  朱常锋;  朱文;  史继富 Favorite  |  View/Download：196/0  |  Submit date：2017/12/31 多弧离子镀  磁控溅射  氮化钛  氧化硅