Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
多弧离子镀与磁控溅射联用镀制TiN/SiO2复合装饰薄膜的研究 | |
其他题名 | Study of TiN/SiO2 composite films prepared by the combined method of multi-arc ion plating and magnetron sputtering |
朱元义; 邓佩珊; 朱常锋; 朱文; 史继富4 | |
2015 | |
发表期刊 | 真空 |
期号 | 1页码:45-47 |
摘要 | In this paper,we combined the advantages of the two methods which are multi-arc ion plating and magnetron sputtering to prepare TiN/SiO2 composite films. The SEM results show that the TiN/SiO2 composite film is more compact and smooth than the TiN film, a |
其他摘要 | 本文结合多弧离子镀和磁控溅射两种镀膜方法的优点,制备了Ti N/Si O2复合薄膜。通过扫描电镜可以观察到,制备的复合膜比单纯的氮化钛薄膜更加致密和光滑,基本消除了大颗粒的影响。另外,可以通过控制溅射Si O2的时间实现对膜层色度的控制。在本文的试验条件下,当氧化硅溅射时间为30 min时,得到的膜层为咖啡色,当氧化硅溅射时间为1 h,膜层为玫瑰红色。采用两种镀膜手段联用的方法,可以得到高品质,颜色丰富的膜系。 |
关键词 | 多弧离子镀 磁控溅射 氮化钛 氧化硅 |
项目资助者 | 省部产学研结合项目(20108090400109);广东省中国科学院全面战略合作项目(20118090300044);肇庆特色产业项目(磁控溅射与离子镀联用大型连续式镀膜技术的研发) |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/16260 |
专题 | 中国科学院广州能源研究所 太阳能系统应用实验室 |
作者单位 | 1.佛山市双石钢业有限公司,广东佛山528251 2.广州市番禺双石钛金厂,广东广州511430 3.肇庆市双石金属实业有限公司,广东肇庆526238 4.中国科学院广州能源研究所,广东广州510640 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱元义,邓佩珊,朱常锋,等. 多弧离子镀与磁控溅射联用镀制TiN/SiO2复合装饰薄膜的研究[J]. 真空,2015(1):45-47. |
APA | 朱元义,邓佩珊,朱常锋,朱文,&史继富.(2015).多弧离子镀与磁控溅射联用镀制TiN/SiO2复合装饰薄膜的研究.真空(1),45-47. |
MLA | 朱元义,et al."多弧离子镀与磁控溅射联用镀制TiN/SiO2复合装饰薄膜的研究".真空 .1(2015):45-47. |
条目包含的文件 | 条目无相关文件。 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[朱元义]的文章 |
[邓佩珊]的文章 |
[朱常锋]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[朱元义]的文章 |
[邓佩珊]的文章 |
[朱常锋]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[朱元义]的文章 |
[邓佩珊]的文章 |
[朱常锋]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论