GIEC OpenIR  > 中国科学院广州能源研究所
Cu2O薄膜磁控溅射制备及特性分析
陈德明; 徐刚
2007-11-15
Source Publication第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集 ; 第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集 ; 第六届中国功能材料及其应用学术会议 ; 第六届中国功能材料及其应用学术会议
Source Publication第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集 ; 第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集 ; 第六届中国功能材料及其应用学术会议 ; 第六届中国功能材料及其应用学术会议
Conference Date2007-11-15
Conference Place武汉
Publication Place武汉
Funding Organization中国仪器仪表学会
Other Abstract采用反应射频磁控溅射法,在氩-氧氛围制备Cu-O体系薄膜。在溅射功率、氩气流量一定的条件下,通过改变氧分压,得到不同成份的Cu-O体系薄膜。在氧分压较小条件下,薄膜中主要以金属铜为主,存在少量的Cu2O,随着氧分压的增加,Cu2O成分增加,在氧分压1.42×10-2pa时得到单相Cu2O薄膜。随着氧分压继续增加,Cu2O逐渐转变成CuO.薄膜成份通过X射线分析,薄膜电阻率采用四探针仪测量,薄膜光学特性采用紫外-可见光谱分析,并计算出本次实验所得单相Cu2O光学带隙为2.51eV.
Keyword磁控溅射 氧化亚铜 光学带隙 铜氧化物 太阳电池
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://ir.giec.ac.cn/handle/344007/8008
Collection中国科学院广州能源研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
陈德明,徐刚. Cu2O薄膜磁控溅射制备及特性分析[C]. 武汉,2007.
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
Cu2O薄膜磁控溅射制备及特性分析.pd(192KB) 开放获取--View Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[陈德明]'s Articles
[徐刚]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[陈德明]'s Articles
[徐刚]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[陈德明]'s Articles
[徐刚]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: Cu2O薄膜磁控溅射制备及特性分析.pdf
Format: Adobe PDF
This file does not support browsing at this time
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.