Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
多晶硅薄膜的制备与表征 | |
胡芸菲; 沈辉; 梁宗存; 刘正义 | |
2002-10-23 | |
会议(录)名称 | 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议 ; 中国第七届光伏会议 |
会议(录)名称 | 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议论文集 ; 中国第七届光伏会议 ; 中国第七届光伏会议 |
会议日期 | 2002-10-23 |
会议地点 | 杭州 |
出版地 | 杭州 |
会议主办者 | 中国太阳能学会 |
其他摘要 | 以多晶硅片为衬底,在快热化学气相沉积(RTCVD)设备上,通过外延生长的方式制得多晶硅薄膜,并利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等测试手段对薄膜的形貌结构及成分进行分析. |
关键词 | 多晶硅薄膜 化学气相沉积 颗粒硅带 外延生长 薄膜制备 形貌结构 |
语种 | 中文 |
文献类型 | 会议论文 |
条目标识符 | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7940 |
专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡芸菲,沈辉,梁宗存,等. 多晶硅薄膜的制备与表征[C]. 杭州,2002. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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