Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
| 氧化钨多孔薄膜的制备及光学性质 | |
黄志峰; 徐刚 ; 苗蕾; 黄春明
| |
| 2009 | |
| 发表期刊 | 材料科学与工程学报
 |
| ISSN | 1673-2812 |
| 卷号 | 027期号:006页码:855 |
| 摘要 | 多孔结构可以使氧化钨薄膜的气敏、电致变色等性能得到增强,但目前多孔氧化钨薄膜的制备仍存在困难。本文采用W和Al双靶磁控溅射的方法得到了W-Al合金薄膜后,把合金薄膜浸入NaOH溶液中处理,其中的Al被腐蚀同时W被氧化,从而得到了多孔的氧化钨薄膜。利用SEM观察多孔氧化钨薄膜样品的表面形貌,用XPS分析样品中W的价态,用XRD分析样品的晶体结构,用紫外-可见-近红外分光光度计测量样品的光学性质。结果显示：制得的多孔氧化钨薄膜的平均孔径在100nm左右,呈海绵状疏松结构;薄膜中W的价态以＋5价为主;薄膜属于非晶相;在可见光区域,多孔氧化钨薄膜具有较高的透过率,而在近红外区域则具有近似平直的透过率曲线。 |
| 语种 | 英语 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/21410 |
| 专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 第一作者单位 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄志峰,徐刚,苗蕾,等. 氧化钨多孔薄膜的制备及光学性质[J]. 材料科学与工程学报,2009,027(006):855. |
| APA | 黄志峰,徐刚,苗蕾,&黄春明.(2009).氧化钨多孔薄膜的制备及光学性质.材料科学与工程学报,027(006),855. |
| MLA | 黄志峰,et al."氧化钨多孔薄膜的制备及光学性质".材料科学与工程学报 027.006(2009):855. |
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