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| 低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索 | |
| 沈辉1; 许颖2; 励旭东2; 王文静2; 于元2; 赵玉文2 | |
| 2003 | |
| Source Publication | 发光学报
 |
| ISSN | 1000-7032 |
| Volume | 024Issue:003Pages:301 |
| Abstract | 在低成本、两种纯度的P^++颗粒硅带衬底(SSP)上，采用RT化学气相沉积(CVD)技术制备了多晶硅薄膜电池。无论高纯硅粉还是低纯硅粉制备的SSP衬底杂质含量都很高且表面凹凸不平；采用4μm／min的沉积速率和钝化作用得到了高质量外延多晶硅薄膜。通过扩散工艺制成的多晶硅薄膜太阳电池的转换效率分别为6．25％(高纯硅粉制成的SSP衬底)和4．5％(低纯硅粉制成的SSP衬底)。 |
| Language | 英语 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/19040 |
| Collection | 中国科学院广州能源研究所 |
| Affiliation | 1.中国科学院广州能源研究所 2.北京市太阳能研究所有限公司 |
| First Author Affilication | GuangZhou Institute of Energy Conversion,Chinese Academy of Sciences |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 沈辉,许颖,励旭东,等. 低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索[J]. 发光学报,2003,024(003):301. |
| APA | 沈辉,许颖,励旭东,王文静,于元,&赵玉文.(2003).低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索.发光学报,024(003),301. |
| MLA | 沈辉,et al."低成本衬底上多晶硅薄膜电池的探索".发光学报 024.003(2003):301. |
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