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以高性价比颗粒硅带为衬底多晶硅薄膜的二次引铝低温制备法 期刊论文
人工晶体学报, 2003, 卷号: 32, 期号: 4, 页码: 361-365
作者:  邱春文;  石旺舟;  王晓晶;  周燕
收藏  |  浏览/下载:495/20  |  提交时间:2009/12/10