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O/N比率对磁控溅射制备TiNxOy薄膜光学性质的影响 会议论文
纳米材料与技术应用进展--第四届全国纳米材料会议论文集, 纳米材料与技术应用进展--第四届全国纳米材料会议论文集, 第四届全国纳米材料会议, 第四届全国纳米材料会议, 山东烟台, 2005-10-01
作者:  王建强;  沈辉;  汪保卫
收藏  |  浏览/下载：441/0  |  提交时间：2011/07/26
反应磁控溅射  吸收率  沉积速率  Tinxoy薄膜  分光光度计  光学性质