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多弧离子镀与磁控溅射联用镀制TiN/SiO2复合装饰薄膜的研究 期刊论文
真空, 2015, 期号: 1, 页码: 45-47
作者:  朱元义;  邓佩珊;  朱常锋;  朱文;  史继富
收藏  |  浏览/下载：173/0  |  提交时间：2017/12/31
多弧离子镀  磁控溅射  氮化钛  氧化硅