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减反射薄膜的制备及其性能 会议论文
《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊, 《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊, 第二届全国纳米技术与应用学术会议, 第二届全国纳米技术与应用学术会议, 宁波, 2002-11-28
作者:  张雪娜;  徐雪青;  沈辉;  郑岳华
Adobe PDF(169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：522/106  |  提交时间：2011/07/26
红外光谱分析  减反射薄膜  二氧化硅  射频溅射法  溶胶凝胶法  膜材料