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磁控溅射法制备Si1-xGex/B多层薄膜及其热电性能研究 期刊论文
新能源进展, 2016, 期号: 5, 页码: 345-350
作者:  杜鑫;  苗蕾;  刘呈燕;  王潇漾
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热电材料  硅锗薄膜  纳米结构  热电性能