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MEMS热敏微流量传感器研究 期刊论文
微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 53-57
作者:  刘国华;  张伟;  徐进良
Adobe PDF(339Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:740/161  |  提交时间:2009/12/03