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靶基距对直流反应磁控溅射制备TiO_2薄膜光学性质的影响 期刊论文
真空, 2005, 卷号: 042, 期号: 001, 页码: 11
作者:  王贺权;  沈辉;  巴德纯;  汪保卫;  闻立时
收藏  |  浏览/下载:126/0  |  提交时间:2019/11/29