中国科学院广州能源研究所机构知识库

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Source Publication：纳米材料与技术应用进展--第四届全国纳米材料会议论文集    Creator：shenhui分沈辉    Creator：汪保卫    First author    Creator：王建强

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	O/N比率对磁控溅射制备TiNxOy薄膜光学性质的影响 会议论文 纳米材料与技术应用进展--第四届全国纳米材料会议论文集, 纳米材料与技术应用进展--第四届全国纳米材料会议论文集, 第四届全国纳米材料会议, 第四届全国纳米材料会议, 山东烟台, 2005-10-01 Authors:  王建强;  沈辉;  汪保卫 Favorite  |  View/Download：481/0  |  Submit date：2011/07/26 反应磁控溅射  吸收率  沉积速率  Tinxoy薄膜  分光光度计  光学性质