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限定条件	((收录类别：SCI) AND (出处：JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING) AND (作者：Li, YX) AND (作者：Su, QC) AND (发表日期：2005) AND (专题：中国科学院广州能源研究所))

Gan, YH 1	Li, YX 1	Shen, S 1
Su, QC 1	Xu, JL 1	Zhang, W 1

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