GIEC OpenIR  > 中国科学院广州能源研究所
减反射薄膜的制备及其性能
张雪娜; 徐雪青; 沈辉; 郑岳华
2002-11-28
会议(录)名称《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊 ; 《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊 ; 第二届全国纳米技术与应用学术会议 ; 第二届全国纳米技术与应用学术会议
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会议日期2002-11-28
会议地点宁波
出版地宁波
会议主办者中国电子学会
其他摘要使用射频溅射和溶胶-凝胶(Sol-Gel)两种方法在玻璃表面制备SiO<,2>减反射薄膜,比较两种方法制备的薄膜减反效果.分析了Sol-Gel方法中溶胶浓度、陈化时间以及退火温度对薄膜透过率的影响.当溶胶浓度为0.4M、陈化时间为6天以及退火温度达450℃时,制得的样品透过率可达99.3%.采用红外光谱分析了SiO<,2>溶胶及凝胶的结构变化过程,发现随着陈化时间和退火温度增加,Si—O—Si键增强.
关键词红外光谱分析 减反射薄膜 二氧化硅 射频溅射法 溶胶凝胶法 膜材料
语种中文
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7928
专题中国科学院广州能源研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张雪娜,徐雪青,沈辉,等. 减反射薄膜的制备及其性能[C]. 宁波,2002.
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