Knowledge Management System Of Guangzhou Institute of Energy Conversion, CAS
| RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究 | |
| 王磊; 沈辉; 胡芸菲; 班群 | |
| 2004-11-15 | |
| 会议(录)名称 | 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 ; 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 |
| 会议(录)名称 | 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 ; 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 |
| 会议日期 | 2004-11-15 |
| 会议地点 | 深圳 |
| 出版地 | 深圳 |
| 会议主办者 | 中国太阳能学会 |
| 其他摘要 | 研究了RTCVD 设备参数如：温度、反应气体流量、沉积时间对多晶硅薄膜的性能的影响，通过扫描电镜（SEM）、X 射线（XRD）、霍尔测试及电池模拟软件PC1D 描述了薄膜性质随各参数的变化规律性，提出改进薄膜性能的思路。 |
| 关键词 | 多晶硅薄膜 太阳电池 薄膜性能 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 会议论文 |
| 条目标识符 | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7904 |
| 专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王磊,沈辉,胡芸菲,等. RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究[C]. 深圳,2004. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| RTCVD制备多晶硅薄膜的性能参数研究.（149KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [王磊]的文章 |
| [沈辉]的文章 |
| [胡芸菲]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [王磊]的文章 |
| [沈辉]的文章 |
| [胡芸菲]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [王磊]的文章 |
| [沈辉]的文章 |
| [胡芸菲]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论