GIEC OpenIR  > 中国科学院广州能源研究所
以废旧硅芯片回收高纯硅的工艺研究
徐华毕; 梁宗存; 沈辉; 李仲吉
2006-11-01
会议(录)名称中国太阳能光伏进展 ; 中国太阳能光伏进展 ; 第九届中国太阳能光伏会议 ; 第九届中国太阳能光伏会议
会议(录)名称中国太阳能光伏进展 ; 中国太阳能光伏进展 ; 第九届中国太阳能光伏会议 ; 第九届中国太阳能光伏会议
会议日期2006-11-01
会议地点成都
出版地成都
会议主办者中国可再生能源学会
其他摘要当前高纯硅材料已经成为制约太阳能光伏产业发展的瓶颈,针对太阳能级硅材料紧缺的总体形势,本文对来源于半导体器件行业的废旧硅片进行回收处理,主要是对不同样品进行分类并对硅片表面掺杂层采用喷砂和化学腐蚀处理,并对样品进行了扫描电镜(SEM)和电学性能方面的测试和分析.结果表明使用该方法回收处理废旧硅片切实可行,并能有效地节约利用高纯硅材料,对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用.
关键词废旧硅片 回收处理 喷砂 化学腐蚀 太阳能光伏
语种中文
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7890
专题中国科学院广州能源研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐华毕,梁宗存,沈辉,等. 以废旧硅芯片回收高纯硅的工艺研究[C]. 成都,2006.
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