GIEC OpenIR  > 中国科学院广州能源研究所
以废旧硅芯片回收高纯硅的工艺研究
徐华毕; 梁宗存; 沈辉; 李仲吉
2006-11-01
Source Publication中国太阳能光伏进展 ; 中国太阳能光伏进展 ; 第九届中国太阳能光伏会议 ; 第九届中国太阳能光伏会议
Source Publication中国太阳能光伏进展 ; 中国太阳能光伏进展 ; 第九届中国太阳能光伏会议 ; 第九届中国太阳能光伏会议
Conference Date2006-11-01
Conference Place成都
Publication Place成都
Funding Organization中国可再生能源学会
Other Abstract当前高纯硅材料已经成为制约太阳能光伏产业发展的瓶颈,针对太阳能级硅材料紧缺的总体形势,本文对来源于半导体器件行业的废旧硅片进行回收处理,主要是对不同样品进行分类并对硅片表面掺杂层采用喷砂和化学腐蚀处理,并对样品进行了扫描电镜(SEM)和电学性能方面的测试和分析.结果表明使用该方法回收处理废旧硅片切实可行,并能有效地节约利用高纯硅材料,对当前供不应求的太阳能级硅材料起到一定的补充作用.
Keyword废旧硅片 回收处理 喷砂 化学腐蚀 太阳能光伏
Language中文
Document Type会议论文
Identifierhttp://ir.giec.ac.cn/handle/344007/7890
Collection中国科学院广州能源研究所
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GB/T 7714
徐华毕,梁宗存,沈辉,等. 以废旧硅芯片回收高纯硅的工艺研究[C]. 成都,2006.
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