GIEC OpenIR  > 中国科学院广州能源研究所
多孔氧化物薄膜的制备和表征
其他题名Preparation and characterization of porous oxide thin film
黄志峰
导师徐刚
2009-05-31
学位授予单位中国科学院广州能源研究所
学位授予地点广州能源研究所
学位名称硕士
关键词多孔 Tio2薄膜 微球 氧化钨薄膜
摘要多孔结构的TiO2薄膜和氧化钨薄膜能使其性能得到提升,是当前研究热点之一。本文采用PEG-F127复合模板剂的溶胶-凝胶法制备了多孔-微球TiO2薄膜,用TG-DSC、XRD、SEM、UV-Vis等手段对薄膜进行了表征。分析表明,快速升温更有利于维持多孔的结构;微球数量随PEG用量增加而增加,且随着微球数量增加薄膜在可见光区域透过率降低。 本文另一部分研究内容是提出一种两步制备多孔氧化钨薄膜方法。采用W、Al双靶磁控溅射得到了W-Al合金薄膜,经NaOH溶液腐蚀后得到了多孔的氧化钨薄膜。利用SEM、XPS、UV-Vis-NIR等手段对薄膜进行了表征。结果显示:采用适当的溅射功率可得到平均孔径为100nm左右的多孔氧化钨薄膜,薄膜孔隙度高;薄膜中W的价态为+5价;在近红外区域具有近似平直的透过率曲线。
其他摘要Nano-porous structure can enhance the performances of TiO2 thin film and tungsten oxide thin film. As a result a lot of research attentions have been paid to the preparation of porous TiO2 thin film and porous tungsten oxide thin film. In this paper, a PEG-F127 multi-templates system was used in the preparation of porous TiO2 thin film through sol-gel processing, and TiO2 microspheres were obtained on the surface of the porous TiO2 film. The microspheres-porous TiO2 thin film was characterized with TG-DSC, XRD, SEM, UV-Vis. The results show that a rapid heating up calcination is more conducive to maintain the porous structure. The number of microspheres increased as the dosage of PEG increased, and as the number of microspheres increased, the transmittance spectrum of the film in the visible region decreased. Another part of our work was to develop a two-steps preparation method of porous tungsten oxide film. W-Al alloy thin film was deposited on a glass substrate by magnetron co-sputtering. Porous tungsten oxide thin film was obtained after the alloy film was immersed in NaOH solution. The porous tungsten oxide film was analyzed by SEM, XPS and UV-Vis-NIR. The results show that the averaged pore size of porous tungsten oxide film is about 100nm.The W component of the porous film exists in W5+ valence state. The transmittance spectrum of the porous tungsten oxide film shows a flat line in the near infrared region.
页数74
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5848
专题中国科学院广州能源研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
黄志峰. 多孔氧化物薄膜的制备和表征[D]. 广州能源研究所. 中国科学院广州能源研究所,2009.
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