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一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法
一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法
徐刚; 黄春明; 陈丽华; 黄华凛; 侯乃升
2010-07-14
公开日期2008-10-08 ; 2011-07-13
授权国家中国
专利权人中国科学院广州能源研究所
专利类型发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开
专利类型发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开
其他摘要本发明利用晶体生长的模板诱导作用原理,提供了一种二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的低 温沉积方法。以玻璃为衬底,依次包括如下步骤:(a)玻璃衬底的清洗与预处理;(b)制备 二氧化硅扩散阻隔层;(c)制备金属氧化物缓冲层;(d)制备二氧化钒热色层。本发明采用 的金属氧化物缓冲层材料在可见光区域透明、结晶温度低、晶形与二氧化钒能够很好匹配, 在二氧化钒薄膜的生长过程能产生模板诱导作用,从而可大幅降低二氧化钒薄膜的沉积温度。 简化二氧化钒智能玻璃的制备工艺,降低成本,节约能耗,大大降低了二氧化钒智能玻璃产 业化过程的难
专利类型发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开
申请日期2008-04-07
语种中文
申请号200810027271.0
专利代理人莫瑶江:广州华进联合专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5314
专题中国科学院广州能源研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐刚,黄春明,陈丽华,等. 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法, 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法[P]. 2010-07-14.
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