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一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法 | |
一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法; 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法 | |
徐刚; 黄春明; 陈丽华; 黄华凛; 侯乃升 | |
2010-07-14 | |
公开日期 | 2008-10-08 ; 2011-07-13 |
授权国家 | 中国 |
专利权人 | 中国科学院广州能源研究所 |
专利类型 | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
专利类型 | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
其他摘要 | 本发明利用晶体生长的模板诱导作用原理,提供了一种二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的低 温沉积方法。以玻璃为衬底,依次包括如下步骤:(a)玻璃衬底的清洗与预处理;(b)制备 二氧化硅扩散阻隔层;(c)制备金属氧化物缓冲层;(d)制备二氧化钒热色层。本发明采用 的金属氧化物缓冲层材料在可见光区域透明、结晶温度低、晶形与二氧化钒能够很好匹配, 在二氧化钒薄膜的生长过程能产生模板诱导作用,从而可大幅降低二氧化钒薄膜的沉积温度。 简化二氧化钒智能玻璃的制备工艺,降低成本,节约能耗,大大降低了二氧化钒智能玻璃产 业化过程的难 |
专利类型 | 发明 ; 发明 ; 公开 ; 公开 ; 发明 ; 公开 |
申请日期 | 2008-04-07 |
语种 | 中文 |
申请号 | 200810027271.0 |
专利代理人 | 莫瑶江:广州华进联合专利商标代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/5314 |
专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐刚,黄春明,陈丽华,等. 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法, 一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法[P]. 2010-07-14. |
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